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MEMS传感器评估板

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发表于 2016-7-5 09:44:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
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SCA100T系列是基于3D-MEMS的高精度双轴倾角传感器芯片,它提供了水平测量仪表级别的性能。双轴高精度倾角传感器芯片的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行,并且传感器双轴需相互垂直。弱的温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让SCA100T-D01、SCA100T-D02高精度双轴倾角传感器芯片成为水平测量仪器的不二选择。VTI的倾角传感器对于高频振动不灵敏,因为他们都在传感元件内部增加了阻尼,并且能承受高达20000g的机械冲击力。特征
           
  • 双轴倾角测量(X轴、Y轴)       
  • 测量范围±30° SCA100T-D01
             
    •    ±90°SCA100T-D02
           
  • 分辨率0.0025°(10Hz BW,模拟输出)       
  • 传感元件的过阻尼的频率响应控制(-3dB 18Hz)       
  • 稳健设计,高冲击性(20000g)       
  • 全温区、长期保持高稳定性       
  • 5V直流供电

MEMS Sensors &Sensing Elements.pdf

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