吉时利微电子半导体行业方案

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吉时利微电子半导体行业方案

电阻测试是表征材料特性的最常用测试手段，在某些应用中，用户需要进行极端微小电阻（Ultra-lowresistance）测试，例如纳米材料，超导材料，继电器开关，低电阻材料、连接器的测试，或者精密的热量测定和研究领域。这些被测件通常具有非常高的导电性和非常小的电阻阻值，对测试连接方案有很大挑战。在进行这类材料和器件的测试过程中，为了最大限度的降低被测设备的自热效应，确保待测件的安全和测量的准确性，通常会使用加流测压的方式，在被测物两端施加可控的微弱精密电流信号，通过欧姆定律测定被测件的电阻阻值。

上图为融化断裂的纳米管，由于施加电流过大自热引起断裂

在微小电阻测试领域，泰克公司提供的微小电阻测试方案， 通 过 使 用 吉 时 利 高 精 度 电 流 源622X(100fA~100mA输出可调 ) 或 2400 系列源表，以及纳伏表 2182A(1nV 灵敏度 ) 组合成为完备的测试解决方案，完美解决了在微小电阻测试过程中经常遇到的问题，使电阻测量灵敏度高达 10nW。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位机软件和测试夹具，可以一站式解决用户在仪表与待测件连接，测试结果存储，以及数据分析过程中遇到的繁杂问题，提高测试效率。

方案特点：

● 极高的电阻测试分辨率和大测试量程

相比其他方法，622X+2182A 方案提供了高达 10nW的电阻测试分辨率，提供了极高的性价比。

● 更好的发热控制

622X电流源输出的电流分辨率最高可以达到 100fA，

可以精确控制加载在待测件两端的电流大小，确保待

测件处在安全状态下

● 更先进的测试方法，消除热电动势

可以使用 DeltaMode 模式消除，自动触发电流源使信号极性交替变化，电流反向法消除了任何恒定的热电失调，确保测量结果反映真实电压值，大幅度降低测量中的噪声信号

● 交钥匙方案设计，可以提供完整的测试夹具方案和上位机数据采集处理软件

低阻测试软件界面

系统构成：

系统主要由 622X 高精度电流源 ( 或 2400 系列高精度源表 )、2182A 纳伏表、测试夹具、转接盒和上位机软件构成。

622X精密电流源可以输出正负电流，编程分辨率高达 100fA，6221 可以输出带宽在 1mHz~100KHz的交流和任意电流波形。

2182A具备 1nV 电压测试分辨率，提供两个独立测试通道，可以与 622X 配合实现 DeltaMode 测试。

CT-MICR-ADP 转接盒

方案还提供专用转接头配件 CT-MICR-ADP，可以将622X和 2182A 的各种输出接口 ( 插片或者鳄鱼夹 ) 统一转接为标准的 4 终端 BNC 接口，方便与其他夹具或者探针台进行互连。

通过 CT-MICR-ADP 连接微小表面贴装器件的夹具上位机测试软件 Cyclestar-MICR 提供了多种测试模式，包括 R-T 功能，电流扫描测试功能，DeltaMode 模式。

在DeltaMode下的软件测试界面

软件的 Pro 高级版还集成了脉冲测试功能，微分电导测试模式和 622X 任意波形输出功能。

Pro 版本提供的脉冲、微分电导和任意波形输出功能

一体化测试方案可以帮助客户在短时间内搭建起微小电阻测试环境，针对不同物理尺寸，不同连接方式，和不同测试方法都可以快速方便的进行连接测试，并在电脑端直接记录获取数据进行后续分析。

系统结构：

使用 CT-MICR-ADP转接盒还可以将测试系统与探针台或其他夹具进行连接

典型方案配置：