140GHz MEMS 矩形波导滤波器设计

恋上你的芯 · 发表于 2015-11-17 13:19:51

设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器．采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片‘厚度对滤波器主要性能的影响．采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构．通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺，首次制造出了D波段MEMS波导滤波器．样品测试结果为插入损耗0．4—0．7 dB，中心频率(140±3)GHz，带外抑制为≥18 dB，样品主要技术指标与设计值符合．

xuanwoyingmu · 发表于 2015-12-7 19:43:44

感谢分享

xuanwoyingmu · 发表于 2015-12-7 19:44:00

感谢分享

140GHz MEMS 矩形波导滤波器设计

相关帖子

站长推荐 /1