宙讯微电子对外提供压电MEMS代工服务
宙讯微电子对外提供压电MEMS代工服务该工艺平台专注于压电MEMS领域新器件的研发和量产服务，平台设备选型满足6英寸全自动化晶圆量产需求。积极布局先进微电子器件、声电器件、MEMS器件、RF前端器件等领域，以满足电子信息、物联网、小基站、北斗等技术发展对于微纳加工的需求，现已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台，实现了新材料从微米到纳米级别的结构与器件的可控开发、加工与测试，可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。（1） MEMS超声换能器PMUT代工服务（2） 光刻代工服务-步进式光刻机（3） 光刻代工服务-接触式光刻机（4） 匀胶显影代工服务（5） 晶圆CMP机械化学平坦化代工服务（6） 氮化铝AlN磁控溅射代工服务（7） 掺钪氮化铝AlScN磁控溅射代工服务（8） 金属Mo磁控溅射代工服务（9） 金属蒸发代工服务（10）PECVD二氧化硅及氮化硅沉积代工服务（11）金属等离子体刻蚀RIE代工服务（12）硅及氧化硅等离子体刻蚀RIE代工服务（13）薄膜厚度修整代工服务（14）湿法清洗及腐蚀代工服务（15）晶圆植球代工服务（16）热压超声倒装代工服务（17）晶圆划片代工服务（18）测试编带代工服务
如需进一步了解或有特定需求，请联系戴经理，17372170616/18901593289（同微）更多信息，请访问宙讯微电子官方网站：www.quantgrav.com
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