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[经验] CMOS工艺中GG_NMOS结构ESD保护电路设计

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发表于 2022-10-26 21:34:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
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摘要 : 采用 GG2NMOS 结构的 ESD 保护电路的工作原理和对其进行的 ESD 实验 ,提出了一种保护电路的栅耦合技术方案 ,并达到了预期效果. 通过实验可以看出其性能达到了人体放电模式的 2 级标准. 在模拟的基础上可确定损伤的机理和位置 ,从而给出了由 ESD 导致的栅氧化层损伤的微观机制.

CMOS工艺中GG_NMOS结构ESD保护电路设计.pdf

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