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硬件型号：浩海5.0L
系统版本：真空泵系统
真空泵种类有很多，按工作原理可以分为：气体输送泵和气体捕集泵；按真空度可以分为：粗真空度、高真空度和超高真空度。
按工作原理分：
一、气体输送泵：
1、变容真空泵
1）往复式
2）旋片式：
（1）油封式：旋片、滑阀式、定片式、余摆线式、多室旋片式；
（2）干式螺杆；
（3）液环式；
（4）罗茨真空泵；
2、动量传输泵
1）分子真空泵：牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵；
2）喷射真空泵：液体喷射真空泵、气体喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵；
3）扩散泵：自净化扩散泵、分馏式扩散泵；
4）扩散喷射泵；
5）离子输运泵；
二、气体捕集泵
1、吸附泵；
2、吸气剂泵；
3、吸气剂离子泵：蒸发离子泵、溅射离子泵；
4、低温泵；
