RFID在半导体天车的问题解决方案

RFID在半导体天车的问题解决方案

目前苏州某科技公司的半导体天车目前现阶段存在问题：

（1）传统8寸晶圆加工过程中涉及几十道工序，目前都是采用人工搬运，容易产生污染物导致晶圆损坏，速度也比较慢，不良率很高。

（2）在半导体制造过程中，天车需要与多种设备和工序进行协同与配合。如果不同工序间的协同不顺畅或配合不紧密，可能导致生产效率下降和产品质量问题。

晨控提供的解决方案：

（1）在半导体天车的行车轨道节点上安装RFID读写器CK-S650-PA60S，当天车搬运FOUP晶圆盒经过轨道节点时自动识别晶圆盒内的TI标签，确保所搬运的晶圆盒信息准确无误。

（2）FOUP晶圆盒上安装TI载码体标签，记录了晶圆芯片的所有信息，如晶圆尺寸、制造日期、流程信息等，在搬运过程中，RFID读写器会将读取到的信息实时上传到管理系统。这样管理人员可以实时掌握晶圆盒的搬运情况，并在必要时进行干预或调整，从而提高整体的工作效率。

（3）天车在封闭的轨道内运行，可以大大减少晶圆暴露在外界环境中的风险，从而有效避免污染问题，提高产品的良率。

晨控CK-S650系列读写器特点

• 读写器采用高强度的铝合金外壳，具有识别速度快、准确率高、识别距离适中、组网方便等特点。
• 丰富的接口和协议：RS232、RS485、以太网。支持标准工业半导体 HSMS、Modbus TCP 协议,同时还支持 1 和 N 协议。
• 操作方便：设备外置了三个模式开关选择器，方便用户直接设置工作模式、通信速率以及设备地址。读卡器内部集成了射频部分通信协议，用户只需通过 RS232/RS485/以太网通信接口发送接收数据便可完成标签的读取操作，无需理解复杂的射频通信协议。