破键合技术困局,青禾晶元引领国产半导体高端装备崛起
目前青禾晶元自主研发了一系列技术领先的晶圆及芯片键合设备,涵盖超高真空常温键合(SAB61系列)、亲水/混合键合(SAB62、SAB82系列)、热压/阳极键合(SAB63系列)、临时键合/解键合(SAB64系列)以及高精度TCB键合(SAB83系列)等,这些设备凭借其卓越的对准精度(可达百纳米级)和广泛的材料兼容性,赢得了市场的广泛认可。此外,还提供了超原子束抛光(SAB9500系列)和膜厚修整设备(SAB9510系列),以原子级的精度对材料表面进行精密加工,为高端应用提供有力支撑。
夏珍
819
18小时前